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半导体超清洁洗濯装备

Parts洗濯（百级洗濯）
1.集超声波洗濯、超声波精洗、真空干燥于一体的超清洁洗濯装备
2.通过超声波团结DIW&有机溶剂的冲洗手艺，，，，，，，，去除产品外貌的有机杂质粘污
3.运用物理的要领接纳机械擦除、团结兆声波冲洗去除细小颗粒物

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